Сектор полупроводниковой техники, в особенности литография для обработки кристаллов, подвергается стремительному технологическому развитию из-за растущих требований к уменьшению размеров технологических узлов и увеличению пропускной способности. Критически важной частью этих систем является модуль микрорегулирования фокуса, который требует точности до микронов для обеспечения оптимального выравнивания между фоторезистом и кристаллом во время процесса экспонирования.
Эти модули обычно включают в себя серводвигатели, линейные стадии высокой точности и специализированные системы передачи. В настоящее время основные тренды отрасли сосредоточены на увеличении жесткости установок, сокращении времени стабилизации и улучшении долгосрочной стабильности при изменяющихся термических условиях.
- Основные проблемы:
- Высокие требования к позиционированию при высокой скорости приводят к чрезвычайным требованиям к редукторам
- Вибрации и термическое смещение могут вызывать критические отклонения при операциях в нанометровом масштабе
- Ограничения по пространству в следующем поколении литографических установок требуют компактных, но прочных решений
- Энергоэффективность важна для снижения тепловой нагрузки в условиях чистых помещений
- Необходимость увеличения интервалов между техническими обслуживаниями для минимизации простоев
Редукторы Waimica были специально разработаны для удовлетворения этих строгих требований. Наше решение обеспечивает исключительную плотность крутящего момента (до 150 Нм/кг), обратную погрешность от 0.1" до 0.5" и термическую стабильность в пределах ±0.001°/°C. Модульный дизайн позволяет быструю интеграцию в существующие архитектуры систем, а наши точно обработанные шестерни обеспечивают 98%+ эффективность передачи на всем диапазоне работы.
| Параметр | Характеристика | Текущий уровень отрасли |
|---|---|---|
| Диапазон крутящего момента | 50 - 500 Нм | The40 - 300 Нм |
| Обратная погрешность | 0.1" - 0.5" | 0.5" - 1.0" |
| Эффективность | 98.2% при 3000 об/мин | 95% - 97% |
| Рабочая температура | -30°C до +120°C | -20°C до +80°C |
| Класс защиты | IP67 | IP54 - IP66 |
| Срок службы | 20 000 ч + | 10 000 - 15 000 ч |
Наш сертифицированный процесс производства по ISO 9001 гарантирует стабильное качество, а оптимизация проектирования на основе FEA сводит к минимуму концентрацию напряжений и максимизирует распределение нагрузки. Редукторы оснащены усиленным корпусом с каналами для рассеивания тепла, а также точно обработанными входными фланцами (ISO 9409-1:2013) для надежного соединения с двигателем.
Решения Waimica успешно внедрены в передовые системы литографии 193 нм и EUV, что доказывает нашу способность предлагать производительность, сравнимую с ведущими международными брендами, сохраняя при этом стоимость на 30% ниже.
При движении отрасли к узлам 3 нм и далее, мы активно разрабатываем следующее поколение редукторов с улучшенным управлением теплом и возможностью цифрового мониторинга. Наша комплексная техническая поддержка и гибкость при кастомизации делают Waimica стратегическим партнером для производителей полупроводниковой техники, ищущих надежные и высокопроизводительные решения в области автоматического управления.
