Анализ вызовов и проблем в отрасли:
Полупроводниковая промышленность находится в авангарде развития передовых технологий, и модуль корреляции фокуса литографии играют критическую роль в обеспечении точности уровня пластины и повторяемости процесса. Эти модули используются в литографическом оборудовании, где требуется поддерживать субмикронную точность для согласования оптических компонентов с поверхностью пластины. Оборудование включает в себя высокоточные тележки, сенсорные системы и системы закрытого контура управления, все из которых в значительной степени зависят от характеристик передачи.
С развитием тенденции к меньшим узлам и с применением экстремального ультрафиолета (EUV) требования к системе передачи становятся все более строгими. Существующие проблемы в отрасли включают:
- Высокие требования к точности и повторяемости передачи
- Необходимость компактного и модульного механического дизайна, чтобы вписаться в ограниченные места оборудования
- Низкий допустимый уровень термического расширения и энергоэффективности, чтобы избежать дрейфа при работе
- Строгие экологические стандарты, включая чистоту помещения и стабильность температуры
- Высокая частота технического обслуживания из-за сложности и напряжения подвижных компонентов
Ключевая роль и технические требования к редукторам в этой отрасли:
В контексте модуля коррекции фокуса литографии редуктор играет решающую роль, напрямую влияя на общую точность, скорость и долговечность системы. Основные технические требования включают:
- Высокая плотность крутящего момента, чтобы справиться с динамическими нагрузками при быстрых и точных регулировках тележки
- Высокая точность передачи с компенсацией люфта и высокой жесткостью зубчатого зацепления
- Быстрая скорость отклика, чтобы обеспечить коррекцию фокуса в режиме реального времени
- Совместимость с различными типами двигателей и протоколами управления для бесшовной интеграции
- Адаптация к условиям окружающей среды, включая устойчивость к пыли, колебаниям температуры и вибрациям
- Долгий срок службы и низкая частота технического обслуживания, особенно для приложений с высокой цикличностью
Решение Waimica по башенным редукторам для модуля коррекции фокуса литографии:
Башенные редукторы Waimica специально разработаны для удовлетворения строгих требований передающих систем литографии. Наше решение имеет следующие ключевые особенности, которые напрямую решают проблемы отрасли:
- Компактный и модульный дизайн, обеспечивающий гибкость установки, включая вертикальную, горизонтальную и угловую конфигурации
- Высокоточные планетарные передачи, обеспечивающие уровень люфта менее 1 угловой минуты, что гарантирует стабильную работу в микропозиционировании
- Высокая эффективность охлаждения за счет передовых конструкций корпуса и оптимизированных форм зубьев, снижающих тепловой дрейф
- Широкий диапазон крутящего момента (от 0,5 до 100 Нм), чтобы поддерживать как высокоскоростные, так и высоконагруженные приложения
- IP67 и совместимость с чистыми помещениями, гарантируя высокую надежность в чувствительных условиях
- Индивидуальные варианты входного фланца, чтобы соответствовать широкому спектру типов двигателей и систем обратной связи
| Параметр | Waimica | Бренд А | Бренд B |
|---|---|---|---|
| Люфт | <1 угловая минута | <2 угловые минуты | <3 угловые минуты |
| Эффективность | >92% | >90% | >88% |
| Класс защиты IP | IP67 | IP65 | IP66 |
| Диапазон рабочих температур | -20°C до +100°C | -10°C до +85°C | -15°C до +90°C |
| Типичный диапазон крутящего момента | 0,5 Нм до 100 Нм | 0,3 Нм до 80 Нм | 0,2 Нм до 60 Нм |
| Гибкость установки | Вертикальная, горизонтальная и угловая установка | Только горизонтальная | Горизонтальная и вертикальная |
Типичный сценарий применения и обратная связь клиентов:
Признанный производитель полупроводниковых систем потребовал высокоточное решение для передачи для своей новой литографической машины, в которой требовались частые и микронные коррекции фокуса. Система клиента нуждалась в редукторе с люфтом в пределах угловой минуты, компактным дизайном и совместимостью с двигателем с фланцевым монтажом.
Техническая команда Waimica провела детальную экспертизу на месте и анализ производительности. Мы предложили индивидуальную башенную передачу с входным фланцем, соответствующим двигателю клиента, с люфтом 0,8 угловой минуты и защитой IP67, чтобы соответствовать требованиям чистой комнаты.
После интеграции клиент сообщил о следующих улучшениях:
| Метрика производительности | До Waimica | После Waimica |
|---|---|---|
| Стабильность системы | 92% | 98% |
| Повторяемость регулировки | >2 угловые минуты | <1 угловая минута |
| Цикл технического обслуживания | Каждые 6 месяцев | Каждые 12 месяцев |
| Потребление энергии | 15,2 кВт·ч | 12,4 кВт·ч |
Выводы и обобщение ценности бренда Waimica:
Башенные редукторы Waimica предлагают высококачественное решение, соответствующее требованиям литографии в полупроводниковой промышленности, которое может успешно конкурировать с передовыми международными брендами. Наши решения отличаются:
- Высокой технической производительностью с высокой точностью, эффективностью и прочностью
- Отличными возможностями настройки и интеграции, чтобы удовлетворять разнообразные требования приложений
- Конкурентоспособной стоимостью и быстрой поставкой, что гарантирует снижение затрат и соблюдение сроков реализации проектов
Как глобальный игрок на рынке промышленной автоматизации высокого качества, произведенной в Китае, Waimica показала свою способность заменить традиционных международных поставщиков в сложных применениях, таких как коррекция фокуса литографии. Мы стремимся поддерживать будущие потребности отрасли в еще большей точности, миниатюризации и энергоэффективности за счет постоянных инвестиций в исследования и разработки и тесного сотрудничества с клиентами.
